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ULVAC開(kāi)發(fā)不同測(cè)定范圍的測(cè)定子可連接換能器型『G-TRAN 系列多離子規(guī)』（特許申請(qǐng)中），并進(jìn)行制品化。過(guò)去復(fù)數(shù)方式原理組合成一個(gè)匡體的復(fù)合真空計(jì)愛(ài)發(fā)科真空計(jì)G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2

包含可以測(cè)量大氣壓到高真空領(lǐng)域的測(cè)量的電離真空計(jì)， 可以測(cè)量中真空到超高真空領(lǐng)域的熱陰極電離真空計(jì)。變送器型真空計(jì)是采用傳感器和計(jì)量回路一體設(shè)計(jì)（也有分離型），實(shí)現(xiàn)省裝置成本，省安裝空間，省配線的目的。日本愛(ài)發(fā)科G-TRAN系列 冷陰極電離真空計(jì)SC1

CCMT-D系列使用的陶瓷隔膜隨氣體壓力變化發(fā)生變形，伴隨這種變化的靜電容量檢出壓力的電容計(jì)。傳感器部位屬于陶瓷一體構(gòu)造，配備*的再現(xiàn)性，穩(wěn)定性，不分氣體種類，精確測(cè)量出低中真空領(lǐng)域壓力。日本愛(ài)發(fā)科陶瓷電容壓力真空計(jì)CCMT-D系列

利用氣體熱傳導(dǎo)恒溫型皮拉尼真空計(jì)。通過(guò)真空計(jì)數(shù)字模式和設(shè)定點(diǎn)等輸出控制設(shè)備裝置，而且可使利用設(shè)備控制面板實(shí)現(xiàn)。皮拉尼真空計(jì)GP-1000G/GP-2001G/GP-2002G

GP-G系列，利用氣體熱傳導(dǎo)恒溫型皮拉尼真空計(jì)。燈絲材料是使用Pt，大氣壓也不會(huì)損壞?？梢苑奖銣y(cè)量低真空領(lǐng)域的壓力，用途廣泛的真空計(jì)。通過(guò)設(shè)定點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)控制各種設(shè)備排氣信號(hào)互鎖。日本愛(ài)發(fā)科皮拉尼真空計(jì) GP-G系列維修保養(yǎng)