標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [22型]
CRYO-U22P
外形尺寸 (單位:mm)
日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U22P維修?
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U22P維修?
| 排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 11,500 |
| 氫氣 | 14,000 | ||
| 氬氣 | 9,700 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到達(dá)壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.7×103(12.8) |
| 氫氣 | 5.0×102(3.7) | ||
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氫氣 | 6.0×106(4.5×104) | ||
| 冷卻降下時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 180/170(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機(jī)裝置 | C30PVRT | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 115.0 | |
*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [22型]
CRYO-U22WB
外形尺寸 (單位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 13,000 |
| 氫氣 | 16,500 | ||
| 氬氣 | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到達(dá)壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 3.5×103(26) |
| 氫氣 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氫氣 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷卻降下時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 165/150(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機(jī)設(shè)置 | C30PMVRT×1 | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 125.0 | |
*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)
設(shè)備介紹
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [22型]
CRYO-U22H
特點(diǎn)
- 適用于大型成膜裝置。
- 擁有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (單位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 17,000 |
| 氫氣 | 25,000 | ||
| 氬氣 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到達(dá)壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 4.1×103(31) |
| 氫氣 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氫氣 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷卻降下時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 150/135(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機(jī)裝置 | C30VR×2 | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 125.0 | |
*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)
U22H,U30是在貿(mào)易管理法規(guī)定中屬于戰(zhàn)略物資的出口管制品。
在出日本國(guó)境時(shí)請(qǐng)務(wù)必辦理日本政府的出口許可申請(qǐng)等手續(xù)。
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